CSPM4000系列扫描探针显微镜
工作模式

扫描隧道显微镜（STM）

    控制金属探针在导电样品表面进行扫描，检测扫描过程中探针－样品间隧道电流的变化来获取样品的表面形貌和其他性质。

    由于要在探针和样品间产生并传输隧道电流，故只能检测导电样品。

原子力显微镜（AFM）

     控制微悬臂探针在样品表面进行扫描，检测扫描过程中探针－样品间原子的相互作用力，获取样品表面形貌和其他性质。

   AFM对样品没有导电性要求，其应用范围十分广泛。

   按照其成像模式和检测信号的不同，原子力显微镜有以下几种工作模式：

横向力显微镜（LFM）
    

       工作原理与接触模式的原子力显微镜相似。

     针尖压在样品表面扫描时，与扫描方向相反的横向力使微悬臂探针左右扭曲。通过检测这种扭曲，可获得样品纳米在尺度局域上与探针的横向作用力分布图。

     影响横向力的因素很多，主要包括摩擦力、台阶扭动、粘性等，故利用横向力显微镜可得到许多样品表面的有用信息，主要用于样品纳米级摩擦系数的间接测量、表面裂缝及粘滞性分析等。

纳米加工（Nanolithography）

     扫描探针纳米加工技术是纳米科技的核心技术之一，其基本原理是利用SPM的探针－样品纳米可控定位和运动及其相互作用对样品进行加工操纵，常用的纳米加工技术包括：机械刻蚀、电致/场致刻蚀、浸润笔(Dip-Pen Nano-lithography,DPN)等。

     纳米加工模式包括：
　

图形刻蚀模式

    通过加载图案或图形文件，设定相应的加工参数，系统自动控制探针按对应的图案进行纳米刻蚀。

矢量扫描模式

    系统提供一个向量脚本编译器，允许用户任意指定扫描方向、距离、速度及加工参数（如作用力、电流、电压等），直接操纵探针运动，同时灵活测定各种信号和数据。