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主要性能
● 集成原子力显微镜(AFM),横向力显微镜(LFM),扫描隧道显微镜(STM),导电原子力显微镜(C-AFM), 磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM)
● 原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式
● 具备液相扫描探针显微镜和环境控制扫描探针显微镜功能
● 具有高精度实时环境温度、湿度检测功能
● 具有I-V曲线、I-Z曲线、力-距离曲线和振幅-距离曲线等测量分析功能
● 具有图形化刻蚀、压痕/机械刻画、矢量扫描、DPN浸润笔等模式的纳米加工技术
● 快速全自动进样，无需手工粗调
● 只需要更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换
● 全数字控制,系统状态、仪器类型、扫描器和探针架参数智能识别和控制
● 探头内置亮度连续可调的照明光源
● 主控制系统采用德州仪器(TI)32位高性能数字信号处理器(DSP)
● 主控制系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)与计算机连接
● 样品尺寸增大至直径45mm、厚度30mm
● 基于Windows Vista/XP/2000/9X的在线控制软件和后处理分析软件
● 具备双向扫描(Trace-Retrace)、往返扫描功能
● 具备实时在线三维图像显示功能
● 具备自动更新扫描图像亮度、对比度功能
● 扫描图像和当前全部工作环境参数同步保存
● 具有数据导出功能，用户可取得原始数据
● 具有国家、国际相关标准全系列参数的样品粒度和粗糙度自动分析功能
● 可连续采集、存储和重现动态过程（纳米电影）
● 针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/用已知针尖重建图像)
● 按功能模块划分的总线插卡式结构，便于日后系统维护和升级
● 可附加光学显微辅助系统和第二显示器
技术指标
• 系统功能
原子力显微镜(AFM)，包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起(Lift Mode)等多种工作模式
横向力显微镜（LFM），导电原子力显微镜（C-AFM）,磁力显微镜(MFM)，静电力显微镜(EFM)
扫描隧道显微镜（STM），包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等
液相扫描探针显微镜成像，环境控制扫描探针显微镜成像
纳米加工和操纵，包括图形化刻蚀、压痕/机械刻画、矢量扫描、DPN浸润笔等模式
• 分辨率
原子力显微镜(AFM)：横向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶体标定）
扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶体标定）
• 参数性能
电流检测灵敏度：≤10pA
力检测灵敏度：≤5pN
图像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024,2048X2048
扫描角度：0～360°
扫描频率：0.1～100Hz
预置隧道电流：0.001～10nA
偏置电压：-10～+10V
温度检测精度：0.1℃，湿度检测精度：0.5％RH
• 电子控制系统
中央处理器：德州仪器（TI）32位数字信号处理器(DSP)，时钟主频600MHz，运算速度4800MIPS
20通道高速DAC
20通道高速ADC
通信接口：10M/100M快速以太网（Fast Ethernet 10/100）接口
• 机械性能
样品尺寸：最大可达直径45mm，厚度30mm
全自动步进电机控制进样系统：行程30mm，定位精度50nm/步
• 软件系统
基于Windows Vista/XP/2000/9X的在线控制软件和后处理软件
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