CSPM3000系列扫描探针显微镜
精益求精、信心之选

主控机箱采用按功能模块划分的总线插卡式结构，方便系统维护和升级

超大样品空间设计，可容纳直径45mm、厚度25mm试样，具有更为广泛的适应性

美国进口的“激光管－光学准直聚焦系统－电源”一体化激光模块，平均无故障时间达8万小时，表现更出色

采用进口压电陶瓷管，加工精度高、性能稳定、压电系数大、线性度高，保证扫描器具有更大扫描 范围(最大可达100μm×100μm)，有效克服非线性畸变

扫描驱动电路采用全球领先的美国APEX公司的顶级高压运算放大器PA88，控制精度和稳定性无与伦比

微电流放大器采用美国BURR-BROWN公司75fA超低偏置电流Difet^® 运算放大器OPA128，灵敏度更高

采用美国BURR-BROWN公司DAC芯片PCM56（16-bit，1.5μs建立时间）构建双16位高速数模转换模块，充分满足高分辨成像和纳米操纵的要求 

机械调节和定位全部采用进口0.25mm螺距的超精密螺杆，配合进口步进电机和电机驱动模块，保证探头稳定性和每步50nm的机械定位精度