☑ .机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究.

 

利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究,本文针对软朔性材料,建立了AFM探针刻画时的刻痕尺寸模型,依据该模型及探针的实际 受力与位置信息,可得到刻...

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作者

田孝军,王越超,席宁,董再励

期刊

仪器仪表学报

年份