扫描模式问题是长期困扰包括扫描隧道显微镜(STM) ,原子力显微镜(AFM) 在内
的扫描探针显微镜(SPM) 测量精度和速度的关键问题。理论与实验均表明:“符合扫描”消除了原
有扫描模式带来的测量误差。这种模式还使测量速度提高了约70 % ,不仅可以使现在的观察型
STM 的性能得到提高,而更重要的是对SPM 从观察型向计量型的转变在扫描模式方面提供了保
障,对原子量级信息读取速度和精度的提高也具有重要意义。

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作者

傅星,胡小唐.

期刊

半导体光电,20(3),195-197(1999)

年份