利用双离子束辅助沉积技术, 制备类金刚石薄膜。并用、、语、一语和等方法对类金刚石薄膜的结构、化学状态、硬度、表面形貌及微观摩擦磨损特性进行了研究。实验结果表明, 类金刚石薄膜是具有, , 混合健的非晶结构, 的含圣较高, 其结构特征接近金刚石。类金刚石薄膜表面光滑, 硬度高。类金刚石薄膜的微摩擦系数为, 低于同样条件下探针单晶硅摩擦副的微摩擦系数耐磨能力较高。微摩擦力基本不随扫描次数而变化。